epa工作区域是指配备各种防静电设备和器材,能限制静电电位,具有确定边界和专门标记的、适于从事静电防护操作的场所。

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      光电器件制造工段是操作静电放电敏感电子产品的工作区域，因此必须建立合格的ｅｐａ工作区域，依据标准ｇｊｂ３００７－１９９７防静电工作区域技术要求。

基本要求：

1.抑制静电电荷的产生和累积。

2.迅速、安全、有效的消除已经产生的静电荷。

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一、防静电工作区域场地

      要用由静电耗散型材料制成的地面，如防静电的活动地板，防静电环氧自流坪或在普通地面上铺设静电地垫，并有效接地。将epa区域外围用防静电工作区域标志（黄黑相间或黄白相间的条纹胶带）来确定边界。

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二、防静电接地

      防静电接地系统必须有独立可靠的接地装置，接地电阻一般小于10ω，接地主干线截面积应不小于100平方毫米；支干线截面积应不小于6平方毫米；设备和工作台的接地线应采用截面积不小于1.25平方毫米的多股缚塑干线，接地线颜色以黄绿色相宜。接地主干线的连接方式应采用钎焊，各支干连接接端子应确保接触可靠，并易拆装，允许使用各种夹式连接器,如鳄鱼夹，插头座等。

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三、环氧条件控制

   1．  温度      

      epa区域内应装有温度调节装置，以维持其室温在15℃-35℃范围内。采用准确度优于1.5℃的温度计测量epa的温。并在每日的同一时间测量和记录一次，目前该epa区域内尚缺乏此项装置。

   2．湿度    

      epa区域内应装置设有湿度调节装置，保持其室内相对湿度在rh45%-75%范围内，采用精确度优于±2%的湿度计测量epa内的湿度，并在每日的同一时间测量和记录一次。在不对产品及工艺有影响的前提下允许采用增湿设备，以增加环境湿度。目前该epa区域内尚缺乏此项装置。

3．  气压     

      epa内大气压力应在86-106kpa范围内，不能满足上述要求时应采取调压措施。

4．  洁净度（必要时）

5．  静电消除器  

      在防静电工作台面上方的适当部位或者其他重要部位，应装设静电消除器，以消除未打开的包装件上的静电荷和在操作过程中因人体、工具及其它物品相互摩擦在工件上所产生的静电荷。静电消除器应能消除任何一种极性的电荷，并在其有效防护区域内使静电保持在规定值之内，中和能力应优于±250v/s，目前该区域尚未安装静电消除器。

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四、防静电工台工位、设施

静电安全工作台　

     静电安全工作台是epa区域的基本组成部分，它由工作台、防静电座椅、防静电台垫、防静电手腕带、插座、接头和接地线等组成。工作台建议用钢制工作台，铺设静电桌垫，并安装不少于两个腕带接头（插座），一个供操作人员使用，另一个供技术人员、检验人员或其它人员使用，腕带接头（插座）须有效接至大地线。并配置防静电座椅，须安装金属拖地链。

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防静电周转容器　

      epa工作区域内的一切储存，周转的容器应具备静电防护功能，不允许使用金属和普通塑料容器。包括了防静电周转车、防静电周转架、防静电手推车、防静电元件盒、防静电托盘、防静电芯片盒、防静电中空板箱。必要时，存放部件用的周转箱应接地。

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防静电操作器具　

      epa工作区域内应使用具有防静电功能的工具，如防静电镊子、防静电烙铁等，不具备防静电功能的必备工具、用具应放在防静电桌垫上，并置于静电消除器的作用范围内。

五、操作人员的静电防护

　　　　epa区域的所有人员应穿着防静电服装、戴防静电帽子、穿防静电鞋、戴防静电手套及指套，临时因工作需要进入epa区域内人员，允许穿普通鞋，但应同时使用导电鞋或静电脚筋带，并配备无绳手腕带。

六、静电的检测及监测

        epa区域内应配备常用的静电检测仪器，以便定时检测各项静电防护措施的有效状况及首次进入epa区域内的物品的静电状况。

    1.静电场测试仪     ——测量epa区域各部位的静电压；

    2.表面电阻测试仪  ——测量物品表面的电阻；

    3.重锤式阻抗仪     ——精确测量点对点表面电阻以及体积电阻；

    4.腕带接地监测仪  ——测量静电腕带及静电台垫须接地装置的实时的连续监测控制器；

七、技术管理要求

1.人员培训：凡与epa相关的工作人员均需经过基本防静电知识的培训，操作人员应掌握各种器具的使用技能和操作规则与方法。

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2.定期检查 ：对epa的各项技术要求，必须经常地进行检查，监测以维持各项设备符合预定的标准（附表）。   

八、 防静电知识：

    1、esd   静电放电
    2、esds  静电放电敏感度

    3、epa   esd保护区域

    4、ebp   epa接地连接点

    5、静电耗散材料：表面电阻率：1*10⁵ω_˜1*10¹²ω，体积电阻率：1*10⁴ω_˜1*10¹¹ω。

    6、导静电材料：表面电阻率：<1*10⁵ω，体积电阻率：<1*10⁴ω