绝缘体在epa保护区如何管理
为了减少电场感应所导致的带电器件破坏模式，静电放电控制方案应包含对制程中所必要的绝缘材料的处理计划。如果电场超过2000伏/英寸，应采取下列的步骤中的一个：
a. 将绝缘体与静电放电敏感器件分开30厘米(12英寸)的距离。
b. 使用离子风扇电荷中和。 所有的离子风扇，必须是能够自我中和其所释放出来的正负离子，而离子风扇的使用与否，由静电防护小组来决定。
c.当移动一个静电敏感组件至一个没有导电地板保护的区域时，须使用静电防护袋。
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