epa内防静电装备(包括地坪、墙面)的配置要求
1、 防静电工作台(桌)
防静电工作台(桌)面应采用导静电、静电耗散材料制成并采取软接地,台(桌)面不宜使用金属板制作。epa内不宜将防静电地坪表面作防静电工作台(桌)接地连接线。
一般防静电地坪(材料)宜采用静电耗散材料制作。地坪内应设置接地网络并良好接地。每一个独立的工作区地坪接地点不应少于两个。对于接触静电敏感度在-100v~100v之间的esds产品的epa,地坪应使用导静电型材料。使用导静电材料(包括金属材料)时,环境电气设备设计和设置必须符合人身安全的有关规定。
3、防静电地垫(地毯)可用导静电或静电耗散材料制作并采取接地措施。
epa内使用的高架活动地板的技术指标应符合sj/t 10796-2001 第6章要求,并与防静电接地相接。
防静电地坪涂料的技术指标应符合sj/t 11294-2003第5章要求,防静电pvc地板砖技术指标应符合sj/t 11236-2001第4章要求。防静电地坪施工应符合sj/t 31469-2002 第3至6章要求。
epa内的人员直接或间接接触esds产品操作时,应使用与防静电地线相连接的防静电腕带或鞋束(鞋)。使用导静电鞋时,epa内环境电气设备设计和设置必须符合人身安全的有关标准规定。
epa内的防静电工作台(桌)、设备机架上应安置接地的腕带插孔。
5、座椅和运转车
座椅和运转车的支脚或脚轮用静电耗散(导电)材料制作。座椅表面用静电耗散材料制作并与脚轮构成电气连接。运转车和椅架可用金属材料制作。
6、 离子静电消除器(电离枪、离子栅)
使用离子静电中和措施时,操作和接触esds产品的位置应处于离子静电消除器(电离枪)有效工作距离之内。
epa 内整体环境采取离子静电中和系统时,所有区域应置于离子静电中和系统有效防护之内。
7、手套、指套、帽、袜、工具(刷)
在epa 内使用的手套、指套、帽、袜、工具(刷)应具有防静电性能,同时符合有关洁净方面的规定。不宜使用金属材料制作的各类工具直接接触esds产品。
8、墙壁、天花板
epa 内墙壁、天花板宜采用静电耗散材料施工,并采取接地措施。墙壁使用金属材料时,环境电气设备设计和设置必须符合人身安全有关规定。
9、工位器具、存放架、物流传递器具
在epa内使用的工位器具、存放架、物流传递器具的防静电性能应符合相关静电要求。
不宜使用金属材料制作的工位器具、物流传递器具直接接触esds产品。
10、防静电蜡、胶
在epa内使用的防静电蜡、胶的防静电性能符合相关要求。
11、工位传输带
epa内使用的工位传输带应具有防静电性能和耐污性能。传输带和采取防静电接地措施的金属皮带轮轴紧密接触构成静电泄放通路。
12、服装、窗帘
在epa内,操作人员穿用的工作服应具有防静电性能。直接或间接接触esds产品的人员穿用的防静电服测试带电量不应超过0.1 微库/件,其他情况则不应超过0.6微库/件。纯棉工作服在相对湿度低于40%的环境中,不能作防静电工作服使用。在使用工作服时,严禁在epa区域内穿脱。工作服结构根据使用情况可以设计成“三紧式”或白大褂式等。
13、包装
在epa内,操作、运输、包装、贮存esds产品时必须使用防静电包装(周转箱、盒、袋、集成电路包装管、其他各类包装)。其防静电技术指标应分别符合gjb 2605-1997表1和sj/t 11277-2002中5.3的要求。各类防静电包装的使用及注意事项应按照gjb/z 86-1997中5.4的要求。
各类防静电包装容器内层宜使用静电耗散材料,不应使用金属材料或表面电阻小于1.0x10ω的其他材料。
14、气动工具、电池动力工具、焊接设备(烙铁)、吸锡器
epa 内使用焊接设备应采取接地措施。焊接设备的焊头与接地极之间的电阻值小于20ω。对于a级 epa 内产品的焊接应使用专用防静电烙铁(或断电焊接)。使用的吸锡器、气动(电池动力)工具也应予以接地。吸锡头、气动工具、电池动力工具表面对地电阻不大于1.0x10ω。
用高温烘箱处理 esds 产品时,应将产品放入耐高温的静电防护包装内或接地的导电金属盒(箱)内进行。
epa内,在操作和放置 esds产品的位置附近搁置有直流高压设备(阴极射线管显示屏、电源等)且在距产品放置位置300mm距离内测量静电电压值在-100v~100v之间时,应对高压设备采取静电屏蔽措施。
上一篇
下一篇
epa内防静电装备的配置要求