防静液喷涂作业要求:
1、在epa(esd protected area)区域内的个别夹具、工装、工具等制作材料为非esd材料,暂时无法替代也无法拿出epa区域外,要求进行喷防静电液处理从而达到防静电目的。
2、由生产部各工段指派专人对非esd材料表面进行清理干净,并在其表面均匀地喷涂一层防静电液,30分钟左右,防静液干爽后,通知esd工程师测试确认其摩擦后静电压应小于100v。
3、对epa区域内的非esd材料喷防静电液的频率为每月一次。
4、喷完防静电液后,操作者与确认人按附表5的格式进行签名,此表格张贴在不应防碍正常使用位置,此表格有效日期为一年,一年后撕毁并贴上新的表格进行记录。
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防静液喷涂作业要求